ウシオ電機、革新的なLED光源搭載露光装置を受注開始へ

ウシオ電機が新たに発表した最先端露光装置

ウシオ電機株式会社は、近年の半導体業界のニーズに応じて、ウェハ向け一括投影露光装置「UX-4シリーズ」に新製品をラインナップしました。この新しい装置、「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」は、革新的なLED光源を搭載し、2026年7月からの受注が開始されます。

半導体産業におけるニーズの変化

現在、半導体産業は環境規制の強化や持続可能な製造プロセスが求められる時代に突入しています。これに伴い、露光装置の光源も従来の水銀ランプからLED光源への移行が進んでいます。しかし、高い露光量が必要な工程では、照度不足が露光時間を延長し、生産効率に影響を与える課題がありました。

LED光源による革新

ウシオ電機では、長年培った固体光源技術を活かし、従来の水銀ランプと同等の照度を持つLED光源ユニットを開発しました。このユニットは、新型《UX-44101SCB》《UX-45114SCB》に搭載されることで、次世代の電子デバイスにおける高スループットを実現します。

特に、IoTや5G、モビリティの進化に伴う、ウェハの大型化や高精度化に対応した効率的な生産プロセスが可能となります。また、BumpやWLPと呼ばれる高度な工程にも対応し、運用効率を大幅に向上させることができるのです。

環境に優しい設計

新しいLED光源は、水銀を使用せず、瞬時の点灯・消灯が可能で、長寿命を実現しました。この結果、装置導入後のランニングコストを大幅に削減し、企業の経済的負担軽減にも寄与します。ウシオ電機は、これにより環境負荷を減らし、より持続可能な製造プロセスを推進することができます。

ウシオ電機の未来

ウシオ電機は、ウェハ向け一括投影露光装置のリーディングカンパニーとして、引き続き「光」で社会に貢献していくことを目指しています。新しい露光装置がもたらす革新は、未来の技術の基盤となり、業界全体の進化につながると期待されます。

ウシオ電機は1964年に設立され、半導体やビジュアルイメージング分野を中心に、幅広い製品を展開してきました。これからの新製品が市場にもたらす影響に、ますます注目です。