カイジョー、最先端半導体向け新型超音波洗浄機を発表

カイジョーが発表した新型超音波洗浄機『QUAVA mini Mega Puck』

株式会社カイジョーは、東京都羽村市に本社を持つ企業で、超音波洗浄機の開発を手掛けている。その新しい製品、『QUAVA mini Mega Puck（クオーバミニメガパック）』が半導体向けに特化した機能を備えているとして注目されている。

1. 新製品の特徴と技術背景

この新型洗浄機は、カイジョーが独自に開発した接液洗浄方式を採用している。この方式では、超音波を印加した液膜を形成し、微細な汚れを効果的に除去する。このシステムは、従来の強力な超音波洗浄とは異なり、半導体のデリケートな回路を傷めることなく、高い清浄度を実現する。特に高周波領域において3MHzの超音波を利用し、「超・高清浄度洗浄」と「ダメージレス」を両立させた。

最近の半導体製造業界では、より高性能かつ微細な回路が求められていることから、従来以上に精密な清浄が求められるようになっています。微細な汚れや残渣が回路をショートさせる可能性があるため、特に精密な洗浄技術が重視されている。これを背景に、カイジョーはこの新型洗浄機の開発に着手した。

2. 技術的な工夫

『QUAVA mini Mega Puck』では、振動子と被洗浄物の設置距離を最適化するため、警告信号機能（ギャップインジケータ機能）を搭載。これにより、洗浄エネルギーの余計な減衰を防ぎ、安定した洗浄効果を得ることができる。

また、様々な薬液に対応可能な材料として、石英、ステンレス、サファイヤといった振動板も用意されている。そして、振動子の冷却機構が付いており、周波数の安定化と高い持続性を実現。これにより、長時間の連続運転も可能となり、振動子の耐久性も向上している。

3. 洗浄方式の比較

この洗浄機は、主に半導体製造工程において用いられる3つの洗浄方式（バッチ方式、シャワー方式、接液方式）の中で、接液方式に特化した設計となっている。バッチ方式では洗浄ムラや異物の再付着リスクがあり、シャワー方式は全体の均一な洗浄が難しい。しかし、接液方式では洗浄ムラがなく、効率的な清浄が可能だ。

4. 適用の業種と用途

『QUAVA mini Mega Puck』は、特に高いクリーン度が求められる業種に最適だ。具体的には、前工程を中心とする半導体デバイスメーカーや、電子部品・光学素子メーカー、シリコンウエハ製造メーカーなどが挙げられる。実際の適用工程としては、半導体ウエハの精密洗浄や、エッチング後の微小残渣除去が含まれる。

5. カイジョーの背景と今後の展望

カイジョーは、音響測探技術を平和産業に転換する形で創業され、その後超音波技術を中心に成長を遂げてきた。1945年の創業以来約70年、同社は半導体業界においても一歩先を行く技術を提供してきた。今後も、顧客の信頼に応える製品とサービスを提供し続けることを目指している。

新型『QUAVA mini Mega Puck』は、カイジョーにとってますます重要になる半導体市場において、その存在感を高めていくと期待されている。製品に関する詳細な情報は、カイジョーの公式ウェブサイトを参照すれば確認できる。問い合わせ先は、株式会社カイジョー超音波機器事業部、Tel: 042-555-6456。