世界初！流体力学式液中粒子計数器PT-01Fの魅力と特長

世界初の流体力学式液中粒子計数器PT-01F

リオン株式会社が開発した「流体力学式液中粒子計数器 PT-01F」は、2026年4月10日に発売される、世界初の製品です。この計数器は、国立研究開発法人産業技術総合研究所やキオクシアと共同で開発された流れ場粒子追跡法（FPT法）を用いており、流体の中での微細粒子の特性を正確に測定することが可能です。

技術革新の背景

近年、半導体製造における品質管理がますます厳格化されており、特に超純水や薬液中の微細な粒子を効果的に管理することが重要視されています。これらの微細粒子の大きさや数だけでなく、成分情報が欠陥や生産装置の不具合を解明する鍵となることが多く、新しい測定技術が求められていました。このような市場のニーズに応える形で開発されたのがPT-01Fです。

開発の経緯

このプロジェクトは、株式会社東芝が受託し、産総研と共同で進めたNEDOの「エネルギー・環境新技術先導プログラム」から生まれました。リオン、産総研、東芝メモリの三者が共同で行ってきた研究と実証試験の結果が、コンパクトな製品化へと結実したのです。これにより、日本の半導体産業における競争力を高める役割も期待されています。

製品の主な特長

この新型の液中粒子計数器には、以下のような特長があります：
1. リアルタイム測定: 流れ場中でのブラウン運動を追跡・解析することで、インラインでリアルタイムに粒子を測定することができます。
2. 精度の高い評価: 幾何学的寸法に近い粒子径と屈折率を同時に算出することができ、粒子の物性推定をサポートします。
3. 多様な粒子の測定: 30nmから100nmまでの粒子を測定でき、屈折率も1.0から2.6の範囲で対応可能です。
4. 耐薬品性: 接液部には耐薬品性の素材を使用しており、多種類の薬液に対応できます。