JFEテクノリサーチが最先端ナノ3DX線顕微鏡を導入し材料解析の新時代を開く

JFEテクノリサーチが最先端ナノ3DX線顕微鏡を導入

JFEテクノリサーチ株式会社は、最新のハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡「ApexHybrid-210TM」を活用し、革新的な受託分析サービスを本格開始しました。この顕微鏡は、キヤノンマーケティングジャパン株式会社が国内独占販売契約を結んでいるSigray製で、特許取得の技術を駆使しており、研究開発の現場における材料の解析効率を飛躍的に向上させることが期待されています。

非破壊の高精度解析技術

JFEテクノリサーチは、製造業向けに先端材料の分析・評価サービスを提供しています。特に、全固体電池や半導体パッケージなどの電子デバイスにおいて、材料の構造が複雑化する中で、従来の分析方法では試料の切断が避けられず、開発サイクルを長引かせる課題がありました。「ApexHybrid-210TM」の導入によって、材料を切断せずに高精度な3次元解析を行えるようになり、特にサブミクロンの精度での内部構造の観察が可能です。

この顕微鏡は、2種類の入射モード—斜入射と直交入射—を搭載し、最大で直径300mm×厚さ20mmの大面積サンプルにも対応。斜入射モードでは高コントラストでの観察が実現され、直交入射モードでは業界最高水準の0.40μm以下の空間分解能を誇ります。これにより、全体像とともに微細な欠陥をも可視化し、内外の評価基準を引き上げる手助けをしています。

研究開発の効率化をサポート

JFEテクノリサーチの副部長、大森氏は「数年来、X線CT装置の性能を探求しており、特に斜入射機構に魅力を感じていた」と語ります。全固体電池の開発においては、内部構造の微細な変化が電池性能に直結するため、ApexHybrid-210TMの導入を決断しました。これによって、両モードを駆使し、様々なサイズの材料に最適な解析を迅速に行えるようになりました。

先端技術との連携による高品質サービス

具体的な解析事例として、全固体電池では内部のクラックを可視化し、2μm以下の小さな欠陥までも捉えることができました。リチウムイオン電池の黒鉛負極に関しては、高分解能観察を通じて微細構造を明瞭に確認し、さらにはCPUのハイブリッド接合部の非破壊評価を行い、高効率な解析を実証しています。これにより、時間を大幅に短縮し、品質向上につなげることができています。

今後もキヤノンMJは「ApexHybrid」シリーズを通じ、さらなる分析ニーズに応えることで、顧客の研究開発やものづくりの革新を支援する計画です。2030年までには「ApexHybrid-210TM」の累積販売台数を30台以上目指しており、十分な市場戦略を検討しています。