ウシオ電機が高解像度の新露光装置「UX-45114SC」受注開始

ウシオ電機が新しい露光装置「UX-45114SC」を発表

ウシオ電機株式会社が新たに発表した一括投影露光装置「UX-45114SC」は、次世代の電子デバイスに求められる技術的ニーズに対応するために設計されています。この最新モデルは、φ6インチ及びφ8インチのウェハに対応し、高解像度での生産効率を大幅に向上させることを目指しています。これにより、パワー半導体やMEMSセンサなどの先進的なデバイスの製造において、さらなる高性能化と生産性の向上が実現可能となります。

専門家による技術革新

「UX-45114SC」は、ウシオ電機が誇る独自の光学設計技術により、従来製品とは異なる特殊な光学顕微鏡を採用しています。この技術により、解像力はL/S=2.8μmの高性能を誇り、重ね合わせ精度も向上しています。近年、IoTや5G技術の進展に伴い、電子デバイスはますます高精細化・高性能化が求められています。そのため、ウシオは新たな時代のニーズに応えるべく、装置の設計に細心の注意を払いました。

大口径ウェハへの対応

加えて、「UX-45114SC」は大口径化が進むウェハ生産に有効であり、特にウェハの生産効率を高めるためのデザインが施されています。φ6インチとφ8インチでの生産能力を兼ね備え、大きなチップでも高スループットを維持しつつ、解像力と重ね合わせ精度を高めることが可能です。これにより、デバイスの歩留まり向上にもつながります。

産業界における重要性

この製品は、通信、光電融合関連産業やモビリティー分野において重要な役割を果たすことが期待されています。ウシオは今後も、ウェハ向け一括投影露光装置のリーディングカンパニーとして、便利で快適な社会の実現に向けて「光」の力で貢献していく方針です。

展示会での発表予定

新型露光装置「UX-45114SC」は、2026年のQ1より受注が開始される予定です。その前に、2025年12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」において展示される予定です。参加者は、ブースNo.E4522でこの最新の技術を直接見ることができるようになります。