日本金属のファインパイプが半導体産業に貢献、さらなる技術革新へ

日本金属のファインパイプが世界の半導体産業を支える

日本金属株式会社（以下、日本金属）は、自社製造のファインパイプが海外メーカーの半導体製造装置において、重要な役割を果たすことを発表しました。このファインパイプは、特にマスフローコントローラーのバイパスチューブとして採用されており、半導体製造における精密さや再現性が求められる環境で使用されています。

マスフローコントローラーの重要性

半導体の製造には、マスフローコントローラー（MFC）が欠かせません。この装置は、ガスや液体の流量を精密に制御し、半導体の良質な製品を生産するために必須の技術です。使用されるパイプには、内外径の精度や面粗さ、端面品質が求められ、品質の安定性が重要視されています。

日本金属は20年以上にわたり、MFC用のパイプ開発に取り組んでおり、岐阜工場と技術研究所が中心となって新たな技術を導入しています。近年発表された、内面研磨工程を削減した高精度小径厚肉管は、その取り組みの成果の一つです。この工程の削減によって、製造コストを抑えることが可能となったほか、さらなる品質向上にも寄与しています。